Результаты работ по направлению создания керамических электродов для удержания кремниевых пластин
Предлагаем ознакомиться с достигнутыми ООО "Эстика" результатами по направлению создания керамических электродов для удержания кремниевых пластин
Керамические электроды под кремниевые пластины диаметром 150 мм
Электроды с различной толщиной верхнего изолирующего слоя, предназначенные для использования в столах с электростатическим прижимом на различных этапах технологических процессов электронного машиностроения, таких как плазмохимическое травление (ПХТ) и ионная имплантация. Форма и конструкция таких электродов могут варьироваться в зависимости от конкретной установки и технологического процесса. Представленные электроды выполнены по монополярной технологии. Ведутся разработки по созданию керамических электродов на основе многополярной технологии с несколькими изолированными друг от друга проводящими зонами.
Электростатический стол с покрытием из Al₂O₃ для процессов ПХТ под пластины диаметром 150 мм
На данной фотографии изображен электростатический стол с покрытием из оксида алюминия (Al₂O₃), предназначенный для процессов плазмохимического травления. Керамический электрод закреплен с использованием термопроводящего клеящего слоя с обязательной герметизацией в необходимых зонах для обеспечения надёжности и долговечности.
Электростатический стол с покрытием из Al₂O₃ для процессов ПХТ под пластины диаметром 150 мм
На данной фотографии представлен электростатический стол с "прижатой" кремниевой пластиной диаметром 150 мм, закрепленной посредством электростатического прижима.
Электростатический стол с покрытием из анодированного оксида (Ан.окс.)
На фотографиях представлен другой вариант исполнения электростатического стола, покрытого анодированным оксидом, в сборе с оснасткой для установки в рабочую камеру.
Лабораторные образцы электростатического стола
Лабораторные образцы электростатических столов, на которых проводились исследования принципов работы и особенностей эксплуатации. Эти исследования позволили выявить необходимые изменения в конструкции стола для повышения эффективности и надёжности работы в различных технологических процессах.